کتابخانه مرکزی
پایان نامه های سال96: طراحی و شبیه سازی حسگرهای مبتنی بر فنّاوری MEMS

طراحی و شبیه ­سازی حسگرهای مبتنی بر فنّاوری MEMS

چکیده

 

در این پایان­ نامه سه شیب­ سنج جدید معرفی‌ می­شود که دو حسگر پیشنهادی اول از نوع خازنی و حسگر سوم از نوع  نوری است. شیب­ سنج خازنی مایع (استوانه ­ای) دارای بازه­ اندازه‌گیری[-90 ,+90] درجه بوده و دقت اندازه ­گیری آن  است. شیب­ سنج خازنی مایع کروی نیز دارای توانایی اندازه­ گیری شیب در دو محور را دارد و بازه اندازه­ گیری این حسگر نیز [-90 ,+90] درجه بوده و دقت اندازه­ گیری آن نیز  است. ویژگی اصلی این حسگر دو­محوره بودن آن است که مزیت بسیار مهمی است. طرح آخر نیز شیب ­سنج ­نوری بوده و توانایی تشخیص تغییرات بسیار کوچک در شیب را دارد. هر سه طرح پیشنهادی بر اساس فنّاوری میکرو ماشین‌کاری طراحی ‌شده‌اند.​

کلید واژه ها: شیب سنج، سیستم های میکروالکترومکانیکال، حسگر

Desig and Simulation of MEMS-based Sensors 


By: Seyyed Mohammad Kashani Nejad


Abstract

 

In this thesis, three novel inclinometers have been reported which two of them are capacitive and the third one is optical. The cylindrical liquid capacitive inclinometer has measurement range between+_90  and sensitivity of  360 fF/deg.

The spherical liquid capacitive inclinometer has the capability to measure in two axes which is a significant advantage. This sensor has the measurement range similar to the cylindrical sensor and sensitivity of  250 fF/deg .

The last sensor is an optical inclinometer which can sense any small change in the slope. All three proposed designs are based on micromachining technology.​


Keywords: MEMS, inclinometer, sensor

 
اداره کتابخانه مرکزی Top

Shahid Beheshti University,دانشگاه شهید بهشتی

دانشگاه شهید بهشتی

Shahid Beheshti University,دانشگاه شهید بهشتی

دانشگاه شهید بهشتی